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真實測量和控制 真實測量和控制

真實測量和控制

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IONIVAC

我們的 IONIVAC 真空計系列,無論是無源 (IE) 還是有源 (ITR),都能測量超高真空。這可以對實驗進行詳細跟蹤,并控制工藝中的可變因素。

IONIVAC 熱陰極真空計的工作原理是讓熱陰極發射電子撞向陽極,測量的氣體在這個過程中被電離。通過第三電極檢測產生的正離子電流,該電流反映了與壓力成比例的信號。

IONIVAC ITR 90/200 系列 ---------------------------------------------------------------------------

經過優化的組合變送器

IONIVAC ITR 是一款經過優化的組合變送器。通過將熱陰極電離傳感器(采用熱陰極電離的 Bayard Alpert 原理)與皮拉尼傳感器相結合,可實現 5 . 10-10 至 1000 mbar(3.75 . 10-10 至 750 torr)的真空壓力測量。

有兩種主要型號可供選擇:

  • 帶單個熱陰極燈絲的 ITR 90
  • 帶雙燈絲的 ITR 200,通過內置冗余配置延長使用壽命。如果出現故障,它將自動切換燈絲,并指示燈絲出現故障。為了進一步延長真空計的使用壽命,可以運行脫氣程序,從而重新增強燈絲的性能。
  • 從 1 . 10-10 mbar/torr 到大氣壓的連續壓力測量  
  • 緊湊型設計,帶有可更換的陰極和脫氣模式
  • 可烘烤的傳感器,用于 UHV 測量
  • 提供模擬、顯示、數字和 Profibus 接口,便于安裝
  • 在 10-2 至 10-9 mbar 的典型工藝壓力范圍內具有高重復性  
  • 通過無源測量進行的 UHV 壓力測量,可實現低至 10-12 mbar/torr 的測量  

IONIVAC IE 414/IE 514 系列------------------------------------------------------------------------

UHV 測量中的主要產品

Leybold 萊寶的 IONIVAC IE 系列真空計是 UHV 真空測量中的主要產品,具有較低測量本底和較高的精度。

與 Leybold 萊寶的無源真空計控制器配合使用,可用于測量非常低壓力讀數的環境。

無源 IONIVAC IE 傳感器使用熱陰極電離技術來測量真空度。

  • IE 414 采用 Bayard Alpert 技術,可在 2 . 10-11 至 e-2 mbar(1.5e-11 至 e-2 torr)的范圍內進行測量。
  • 要測量非常低的壓力,您需要降低 X 射線的影響。這是在我們的 IE 514 系列真空計上使用熱陰極電離提取方法來完成的。借助這種傳感器技術,您可以讀取 2e-12 至 1e-4 mbar(2e-12 至 7.5e-5torr)的真空度。
標簽:IONIVAC

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