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真空解決方案 真空解決方案

真空解決方案

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SOGEVAC 泵組

SOGEVAC 真空泵組基于 SOGEVAC 旋片泵,并與 RUVAC WA、WS 或 WH 系列的羅茨泵相結合,適合幾乎所有中真空工藝。越來越多的工業和研究應用都依賴于真空技術,對真空生成系統的要求差異很大。

SOGEVAC 機組的典型應用領域包括工業、研究和化學。其中重點是金屬生產和加工、干燥和脫氣、熱處理、太陽能部件和半導體制造領域中的鍍膜以及表面細化等工藝。SOGEVAC 機組還可用作高真空系統的前級泵組,與擴散泵、渦輪分子泵和低溫泵結合使用。

在常見的真空爐工藝中,例如硬化、退火、硬釬焊、熔化和鑄造,通常優選使用油封或干式壓縮標準真空泵系統。油封系統由羅茨真空泵與單級或雙級旋片組合而成。

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